在位于蘇州工業(yè)園區(qū)的蘇州漢驊半導(dǎo)體有限公司生產(chǎn)車間里，企業(yè)自主研發(fā)的高端8英寸RGBMicro-LED硅基氮化鎵外延材料產(chǎn)品生產(chǎn)線正在“火力全開(kāi)”，這些氮化鎵外延材料產(chǎn)品將為高端顯示在亮度、色彩等方面帶來(lái)顛覆性突破。

氮化鎵外延片是第三代半導(dǎo)體的核心基礎(chǔ)材料。作為國(guó)內(nèi)為數(shù)不多的掌握第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵材料的公司，漢驊研發(fā)團(tuán)隊(duì)的核心技術(shù)人員均來(lái)自頂級(jí)半導(dǎo)體企業(yè)，具有10多年第三代半導(dǎo)體研發(fā)及管理經(jīng)驗(yàn)，掌握關(guān)鍵材料的研發(fā)及制備等核心技術(shù)。

“創(chuàng)業(yè)之初，市場(chǎng)上沒(méi)有可對(duì)標(biāo)的公司，項(xiàng)目又處于PPT階段，風(fēng)險(xiǎn)較高；有些投資機(jī)構(gòu)雖然看好前景，但要求控股占比達(dá)到60%以上，我們不想一開(kāi)始就失去控制權(quán)。”蘇州漢驊半導(dǎo)體首席執(zhí)行官顧星回憶。幸運(yùn)的是，江蘇省產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院的“撥投結(jié)合”機(jī)制“雪中送炭”。

2017年11月，團(tuán)隊(duì)核心成員到蘇州工業(yè)園區(qū)創(chuàng)業(yè)，江蘇產(chǎn)研院與蘇州工業(yè)園區(qū)共同投資超過(guò)1億元，成立蘇州漢驊半導(dǎo)體有限公司，成功開(kāi)發(fā)了4英寸碳化硅基氮化鎵射頻外延片并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，產(chǎn)品性能指標(biāo)世界領(lǐng)先。

“早期需要不停地投入大量的研發(fā)費(fèi)用，整個(gè)回報(bào)周期會(huì)比較長(zhǎng)，在‘撥投結(jié)合’的創(chuàng)新模式下，我們的團(tuán)隊(duì)不僅拿到了第一筆資金，整個(gè)團(tuán)隊(duì)還保持了主導(dǎo)權(quán)，積極性和能動(dòng)性就大大提高了?！鳖櫺歉袊@。目前，蘇州漢驊半導(dǎo)體已建成年產(chǎn)30萬(wàn)片且兼容4、6、8英寸的氮化鎵高端外延材料的平臺(tái)，也是目前國(guó)內(nèi)最大的獨(dú)立氮化鎵外延材料生產(chǎn)基地。2023年，蘇州漢驊再次投資數(shù)億元，國(guó)內(nèi)首條晶圓級(jí)異質(zhì)混合集成量產(chǎn)產(chǎn)線通線。同年，使用獨(dú)創(chuàng)的3DIC混合集成技術(shù)點(diǎn)亮世界上最小的微顯示芯片。

記者 張宣

《新華日?qǐng)?bào)》2025年3月4日第T03版